軟件系統(tǒng)可自行設(shè)定FFU風(fēng)機(jī)轉(zhuǎn)速快慢來(lái)決定風(fēng)機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)是否正常。
測(cè)量點(diǎn)單純精準(zhǔn)。不會(huì)因Mini-Environment的體積大小與形狀不同，而須增加測(cè)點(diǎn)或是量測(cè)誤差值過(guò)大而產(chǎn)生誤判。
可與SMIF ARM訊號(hào)連結(jié)成一套完整Interlock系統(tǒng)，避免發(fā)生環(huán)境潔凈度問(wèn)題后，而ARM仍可收 / 下貨與動(dòng)作。
這種系統(tǒng)價(jià)格便宜。與一般風(fēng)壓或風(fēng)量偵測(cè)儀器比較更仍節(jié)省一半以上的成本。
它的應(yīng)用范圍廣泛，任何需監(jiān)控風(fēng)機(jī)功能之設(shè)備機(jī)臺(tái)皆可使用。

FFU風(fēng)機(jī)風(fēng)速的設(shè)定與調(diào)整
根據(jù)美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)潔凈室規(guī)格，Class 1~100的環(huán)境之下，風(fēng)速標(biāo)準(zhǔn)必須達(dá)到0.35~0.55 m/s。故可假設(shè)風(fēng)速低于0.35m/s時(shí)，風(fēng)機(jī)即視為異常狀態(tài)。此時(shí)可利用風(fēng)機(jī)轉(zhuǎn)速偵測(cè)器調(diào)整定義轉(zhuǎn)速異常點(diǎn)，再配合以風(fēng)速計(jì)確認(rèn)后，便可完成。